Российский лазер для литографии появится после 2026 года, такие приборы выпускают пока только в США и Японии

3 октября 2024

Заместитель министра промышленности и торговли России Василий Шпак в интервью CNews рассказал о том, что отечественный лазер для литографии появится после 2026 года. Это сделает Россию третьей страной в мире, где выпускают подобные установки: пока выпуском таких лазеров занимаются японская GigaPhoton и американская Cymer.

На данный момент группа компаний «Лассард» создала два опытных образца лазера. Испытания начнутся в следующем году, а в 2026 году должно быть запущено серийное производство. Отечественный лазер будет использоваться в литографе, позволяющем выпускать 350-нанометровые чипы, но позже планируется переход на техпроцесс 130 нм. Более того, ведется работа над освоением более тонких техпроцессов.

Лазер дает возможность модифицировать характеристики в сторону более тонкой топологии. Более того, скажу, что мы уже ведем работу на перспективу, разрабатывая материалы и заказывая работы для установок 90 нм и 65 нм, — сказал Василий Шпак.

Источник: https://www.ixbt.com/news/2024/10/02/rossijskij-lazer-dlja-litografii-pojavitsja-posle-2026-goda-takie-pribory-vypuskajut-poka-tolko-v-ssha-i-japonii.html

Фото: ГК «Лассард»